一种将质谱测定技术和离子发射显微镜技术相结合的成分分析仪器。其原理是利用聚焦的高能一次离子束轰击试样表面，溅射出表征试样成分的二次离子，通过扇形磁场，完成质荷分离，根据二次离子的质荷比和强度来进行定性和定量分析。能对固体物质作微区、微量及深度成分分析，检测灵敏度可达十亿分之几。广泛应用于半导体、冶金、地质和生物研究等部门。
