光电显微镜

一种用于计量测试方面精确对准线纹尺刻线或读数的仪器。由光学显微镜和电测量系统组成。按用途分，有对线光电显微镜和读数光电显微镜；按测量型式分，有静态光电显微镜和动态光电显微镜。其对线精度比光学显微镜要高数十倍。